,,Damage``-Energiedichte

 

Der nukleare Energieübertrag zwischen einem Ion und einem Target-Atom muß bei der Simulation einer Ionentrajektorie berechnet werden. Bezieht man nun auf ein Raumgebiet, so erhält man praktisch ohne nennenswerte CPU Zeit die ,,Damage``-Energiedichte .

  
Abbildung 5.3: Vergleich zwischen experimenteller (Symbole) und simulierter Damage-Energiedichte in eV/Å/Ion. Fuer erstere wurden die Messergebnisse bei aus Abbildung 5.2 und die Formel 5.1 verwendet. Der Wert fuer wurde so gewaehlt, dass die Maximalwerte aus Experiment und Berechnung zusammenfielen.

Aus den Experimenten von Maszara und Rozgonyi lassen sich sogar mit Hilfe

• der Meßergebnisse aus Abbildung 5.2,
• der Formel 5.1 und
• der Annahme, daß bei sehr tiefen Temperaturen eine Vernichtung von Punktdefekten verhindert wird,

experimentelle -Kurven konstruieren (siehe Abbildung 5.3). Um nun diese Kurven mit den simulierten vergleichen zu können, muß laut Gleichung 5.1 ein Wert für gefunden werden. Für beide Implantationsenergien ergab sich dieser Skalierungsfaktor in exzellenter Übereinstimmung mit der Literatur [Ste70, Nar84] zu (), indem die jeweiligen Maximalwerte aus Experiment und Simulation zur Deckung gebracht wurden. Da der Ort dieses Damage-Peaks für das Amorphisierungsmodell von Bedeutung ist, wird er mit bezeichnet.

Die Abweichungen der jeweiligen Kurven nahe der Siliziumoberfläche lassen sich nicht eindeutig auf eine bestimmte Ursache zurückführen. Jedoch könnten mechanische Spannungen des Wafers, geringe Punktdefektmigrationen oder Meßungenauigkeiten eine Rolle spielen.

Für die weiteren Untersuchungen kann mit hinreichender Genauigkeit angenommen werden, daß nicht von T abhängt.