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6.2 Der Monte Carlo Simulator

 

Der Monte Carlo Simulator MCIMPL wurde am Institut für Mikroelektronik der Technischen Universität Wien entwickelt. Grundlegende Arbeiten zur Modellierung der Ionenimplantation wurden von Dr. Gerhard Hobler [Hob88a, Hob89, Hob91c] durchgeführt, wohingegen bei Dr. Hannes Stippel die automatische Adaption von Histogrammboxen [Sti92] und die effiziente Lösung des Point-Location Problemes in Vordergrund stand [Sti93a, Sti94]. Das Programm ist ein Bestandteil des TCAD\ Softwarepaketes VISTA [Sel91, Hal93, Hal95]. Als Datenaustauschformat wird PIF verwendet [Fas91].

Unter anderen sind folgende Eigenschaften des Simulators erwähnenswert:



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Mon Dec 23 13:09:21 MET 1996