Zur Kalibrierung der verwendeten Modelle werden SIMS Analysen herangezogen, die aus technologischen Gründen noch eindimensionaler Natur sind. Für diesen Vergleich benötigt man ein mathematisches Modell der SIMS Messung. Die Berechnung der Randverteilung einer zweidimensionalen Punktantwort kommt dieser Forderung am nächsten.
Für analytische Simulationsmethoden benötigt man die Momente der verwendeten Verteilungsfunktion (Gauß, Pearson, Kappa, usw.), um die Dotierstoffverteilung berechnen zu können. Man gewinnt diese entweder durch Vergleich mit Experimenten oder ebenfalls mit Hilfe der Monte Carlo Simulation von Punktantworten [Jah81, Rys81, Tas89, Par90, Bur95, Puc95].
-Implantation mit 40keV