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Einige ausgewählte Punktantworten

In diesem Abschnitt werden die Fehlerverläufe


equation6051
und die Dotierstoffkonzentrationen für einige ausgewählte Punktantworten dargestellt. Untersucht wurde ein für die Monte Carlo Simulation interessanter Energiebereich von 10 bis 60keV an Hand von Bor-, Phosphor- und Arsen-Ionen.

Folgende Einstellungen gelten für alle Simulationen:





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Mon Dec 23 13:09:21 MET 1996