next up previous contents
Next: 25keV-Bor-Implantation Up: Einige ausgewählte Punktantworten Previous: Einige ausgewählte Punktantworten

10keV-Bor-Implantation

  figure5465
Abbildung 4.14: Simulation einer Punktantwort auf konventionelle Art mit 5.000 10keV-Bor-Ionen.

  figure5470
Abbildung: Simulation einer Punktantwort mit Hilfe der ,,Trajectory-Split`` Methode und 5.000 10keV-Bor-Ionen.

  figure5475
Abbildung 4.16: Simulation einer Referenzverteilung auf konventionelle Art mit 1.000.000 10keV-Bor-Ionen.

  figure5480
Abbildung 4.17: Fehlerverlaeufe tex2html_wrap_inline12741 als Funktion der relativen Konzentration tex2html_wrap_inline12939 fuer 10keV-Bor. Q wurde in diesem Fall um einen Faktor tex2html_wrap_inline12943 verkleinert. Durchgezogene Linien: 5.000 Ionen, strichlierte Linie: 40.000 Ionen.



IUE WWW server
Mon Dec 23 13:09:21 MET 1996