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5.2 Experimentelle Daten

Um ein Gefühl für die komplexen Vorgänge bei der Amorphisierung zu erhalten, wurden zuerst verschiedenste experimentelle Daten analysiert und ausgewertet
[Wes69, May70, Mor70, Mor72, Mas86, Mot91a, Mot91b, Mot92, Har93, Zha93, EK95]. Die Arbeit von Maszara und Rozgonyi [Mas86] enthält detaillierte Analysen von Silicon self-implantation Experimenten, d.h., es wurde ein (100) Silizium-Wafer unter exakt vorgegebenen Randbedingungen mit Siliziumionen bestrahlt. Auf Grund der in dieser Veröffentlichung enthaltenen fundierten Daten war es möglich, ein Amorphisierungsmodell für Monte Carlo Simulatoren zu entwickeln.





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Mon Dec 23 13:09:21 MET 1996