In Halbleitern ist im Gegensatz zu Metallen der elektronische Anteil an der gesamten Wärmeleitfähigkeit gering. Er kann in einem weiten Temperaturbereich vernachlässigt werden [52]. Das Wiedemann-Franz'sche Gesetz (2.99) gilt zwar für die Wärmeleitfähigkeit des Elektronen- bzw. Löchersystems, nicht aber für die gesamt Wärmeleitfähigkeit des Halbleiters. bezeichnet die Lorenzzahl der Elektronen. Im nichtentarteten Halbleiter reduziert sich Gl. (2.99) (z.B. [52], [153], [192]):
Nach Gl. (3.155) ist eine Funktion des vom dominierenden Streumechanismus abhängigen numerischen Parameters [52]. Nur bei sehr hohen Temperaturen oder Ladungsträgerkonzentrationen liefern die Ladungsträger einen mit dem Gitter vergleichbaren Beitrag zur Wärmeleitfähigkeit [71].
Messungen zeigen, daß die gesamte Wärmeleitfähigkeit in Silizium eine Funktion der Temperatur ist [83]:
Die Wärmeleitfähigkeit im Siliziumdioxid ist um ca. einen Faktor schlechter als in Silizium. Sie kann als konstant betrachtet werden (]) [189].