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Kapitel 4

Der Simulator MINIMOS NT

Das Programm MINIMOS wurde 1980 von Prof. S. SELBERHERR [117] speziell für die effiziente Simulation von MOSFETs entwickelt und ist seither zu einem der wohl am weitesten verbreiteten Bauelementsimulatoren für diese Strukturen avanciert (seit 1994 ist offiziell die Version MINIMOS 6.0 [20] verfügbar). Inzwischen kann MINIMOS nicht mehr nur MOSFETs auf Si-Basis simulieren, sondern auch MESFETs auf der Basis von GaAs [20, 115, 116]. Aufgrund der hohen Spezialisierung des "konventionellen" MINIMOS war eine Erweiterung oder Verallgemeinerung auf Heterostrukturen nicht möglich. Daher wurde eine neuer, eigenständiger Simulator entwickelt, der zwar den Grundgedanken von MINIMOS beinhaltet, in seiner Codierung und Diskretisierung jedoch wesentlich variabler konzeptioniert wurde und die Simulation sehr allgemeiner Strukturen zuläßt. Aus Gründen der Kontinuität wurde der neue Simulator MINIMOS NT (New Technology) genannt, um einerseits den Rückschluß auf seine Herkunft zu gewährleisten, andererseits aber auch auf seine Neuartigkeit und Anwendbarkeit für moderne Heterostrukturbauelemente hinzuweisen. Wie bereits die neue Version MINIMOS 6.0, kann auch MINIMOS NT in die CAD-Entwicklungsumgebung (Computer Aided Design) VISTA integriert werden, die am Institut für Mikroelektronik der TU Wien entwickelt wurde. Die folgenden Abschnitte verdeutlichen die Lokalisierung von MINIMOS NT innerhalb von VISTA und beschreiben die Grundlagen seiner Diskretisierung, sowie den allgemeinen Algorithmus. Details werden in [46, 113] und [47] beschrieben.