D I S S E R T A T I O N





Topography Simulation of
Novel Processing Techniques






ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften





eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
von


Lado Filipovic



Neustiftgasse 67-69/17
A-1070 Wien, Österreich

geboren am 12. Februar 1983 in Sarajevo, Jugoslawien
Wien, im December 2012




L. Filipovic: Topography Simulation of Novel Processing Techniques