Diese Arbeit entstand am Institut für Mikroelektronik, an dem ich nun seit dreieinhalb Jahren tätig bin. Besonders bedanken möchte ich mich bei Prof. Dr. Siegfried Selberherr, der viel positiven Einfluß auf die Arbeit nahm und mich in jeder Hinsicht unterstützte, ohne dabei meine Entfaltungsmöglichkeiten einzuschränken. Seine außerordentlichen Kenntnisse, sein profundes Fachwissen sowie seine guten industriellen Kontakte und der daraus resultierende Einblick in Problemstellungen auf dem Gebiet der physikalischen Modellierung von Halbleiterbauelementen waren eine entscheidende Voraussetzung für den erfolgreichen Abschluß der vorliegenden Dissertation.
Allen meinen Kollegen bin ich für ihre Hilfsbereitschaft und für das angenehme Arbeitsklima am Institut sehr dankbar. Besonders hervorheben möchte ich hierbei meine Zimmerkollegen Dr. P. Habas, der mit seinen umfangreichen Kenntnissen in bezug auf Grenzflächenmodellierung stets zu Diskussionen bereit war, Dr. H. Kosina, der mir bei allen Arbeiten, die Monte-Carlo-Methode betreffend, mit Rat zur Seite stand und mit seinem Kritikbewußtsein und Anregungsvorschlägen erheblichen Anteil zum Gelingen dieser Arbeit beitrug, und auch Dipl.-Ing. M. Knaipp, mit dem ich in vielen physikalischen Gesprächen Verbesserungsvorschläge für meine Arbeit gewonnen habe. Dr. C. Fischer und Dipl.-Ing. G. Schrom kann ich gar nicht genug Dank aussprechen, denn deren rasche Auffassungsgabe verbunden mit einem überdurchschnittlichen Wissen in allen Bereichen der Mikroelektronik waren unerläßlich für Einsichten der technischen Modellierung und haben meine Kenntnisse auf diesem Gebiet sicherlich erweitert. Der unermüdlichen Anstrengung meiner Kollegen, Dr. M. Stiftinger, Dr. F. Fasching, Dr. H. Pimingstorfer, Dipl.-Ing. G. Rieger, Dipl.-Ing. H. Puchner, Dipl.-Ing. W. Tuppa und Dipl.-Ing. T. Simlinger in bezug auf Betreuung und Instandhaltung des Computer-Netzes am Institut für Mikroelektronik sei nochmals recht herzlich gedankt. Dr. E. Strasser trug in vieler Hinsicht mit Ermunterungen und Anregungsvorschlägen zu einem konstruktiven Arbeitsklima bei, sodaß die Zeit meiner Dissertation unvergeßlich bleiben wird.
Ferner bin ich Dr. A. v. Schwerin und Dr. H. Jacobs für die Unterstützung meiner Dissertation in fachlicher Hinsicht zu Dank verpflichtet. Die interessante Aufgabenstellung und finanzielle Unterstützung von SIEMENS ermöglichte erst diese Dissertation. Dem Fonds zur Förderung der wissenschaftlichen Forschung sei ebenfalls für die Bereitstellung eines Stipendiums Dank ausgesprochen, welches mir ermöglichte, Studien in Bologna durchzuführen. Prof. B. Riccò, Prof. E. Sangiorgi, Prof. F. Venturi, Prof. C. Jacoboni, Dr. L. Selmi, Dr. C. Fiegna haben mit Ihrem Fachwissen und der ständigen Bereitschaft zu Diskussionen einen wesentlichen Beitrag am Gelingen dieser Arbeit. Der Firma Digital Equipment Corporation bin ich für die Ausstattung mit modernen, leistungsfähigen Arbeitsplatzrechnern verbunden.
Allen meinen Freunden und Verwandten möchte ich noch meinen aufrichtigsten Dank aussprechen, wobei ich zuallererst meine Eltern erwähnen muß, die aufgrund der finanziellen und moralischen Unterstützung während der Zeit meines Studium stets eine hilfreiche und ermunternde Stütze waren. Rückblickend kann ich nur ein Wort von F. Torberg in den Mund nehmen: ``Es war schon eine tolle, tolle Zeit.''