3.1.3 Ergebnisse der Monte-Carlo-Simulation für Silizium



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3.1.3 Ergebnisse der Monte-Carlo-Simulation für Silizium

Die makroskopischen Eigenschaften von Silizium können in Abhängigkeit des elektrischen Feldes sehr genau bestimmt werden. Die Ergebnisse beziehen sich auf eine Bandstruktur, wie sie aus Gleichung 3.12 mit einem Gewichtsfaktor extrahiert sind, da damit der Fehler bei der Bandstruktur als auch der Gruppengeschwindigkeit verglichen mit einer anisotropen Vollbandberechnung minimal sind [51]. Für eine Berechnung der wichtigsten Transportgrößen, wie die mittlere Elektronenenergie und die Driftgeschwindigkeit, müssen auch noch die Streuparameter angepaßt werden. In [85] ist eine Optimierung der optischen und akustischen Streuparameter vorgeschlagen, um das vorhandene Modell mit experimentellen Daten in Einklang zu bringen. Dabei ist ein Verfahren entwickelt worden, mit dem aufgrund von Gate- und Substrat-Stromberechnungen die Streuparameter entnommen werden können. Die einzelnen Parameter sind in Tabelle 3.1 angegeben.

 

Die Driftgeschwindigkeit in Silizium ist in Abbildung 3.7(a) dargestellt. Die Ergebnisse der Simulation sind mit den experimentellen Daten [86] verglichen. Bei niedrigen Feldern steigt die Geschwindigkeit stark an. Für sehr hohe Felder ist eine Sättigung der Geschwindigkeit festzustellen. Im Vergleich zu anderen isotropen Mehrbandmodellen [58][59] ist aber bei diesen hohen Feldstärken kein Abflachen der Geschwindigkeit zu erkennen. Dieser Sachverhalt kann damit erklärt werden, daß, im Gegensatz zu anderen Berechnungen [58][59], die Gruppengeschwindigkeit auch bei höheren Elektronenenergien nicht abrupt gegen Null strebt.

 

In Abbildung 3.7(b) wird die Abhängigkeit der mittleren Elektronenenergie vom elektrischen Feld gezeigt. Dabei werden die Resultate mit den Berechnungen von [66] verglichen. Obwohl Abweichungen sogar bei niedrigen Feldstärken augenscheinlich sind, ist wegen der verschiedenen Streupotentiale und der daraus entstehenden Abweichung selbst bei verschiedenen Vollbandmodellen ebenfalls keine exakte Übereinstimmung zu finden [52][87]. Die Energie ist bei niedrigen Feldern nahezu konstant, während bei einem elektrischen Feld der Größenordnung von ein starker Anstieg einsetzt. Bei elektrischen Feldstärken im Bereich von bis ist die Energie über den Werten einer Rechnung mit einer Vollbandstruktur. Dieser Unterschied wird, wie bereits erwähnt, von der Wahl der Streuparameter für die optische Deformationspotentialstreuung verursacht, die sogar bei Vollbandmodellen eine Schwankung der mittleren Elektronenenergie hervorruft [51][87].

Für die Elektroneninjektion an der Grenzfläche des Isolators zur Gate-Elektrode ist die genaue Kenntnis der Hochenergieverteilung der Elektronen sehr wichtig. Bei einer Vergleichsstudie [87] zeigt sich ganz deutlich, daß für nichtparabolische Einbandmodelle, bei denen die für die Streupotentiale akustischer und optischer Phononen vorgegebene Werte verwendet werden, sehr ähnliche Ergebnisse erhalten werden, sowohl für die mittlere Energie als auch für die Verteilungsfunktion. Jedoch sind diese Modelle, wie schon mehrfach erwähnt worden ist, nur bis zu Elektronenenergien von ungefähr gültig. Dagegen zeigen sich für Vollbandmodelle wie auch für numerisch angepaßte Modelle Abweichungen ab etwa . Das kann damit erklärt werden, daß verschiedene Methoden zur Berechnung der Streuraten als auch der Bandstruktur verwendet werden. In Abbildung 3.8 werden vier verschiedene Vollbandmodelle mit den Daten des isotropen Mehrbandmodells dargestellt. Die Verteilungsfunktion in nichtdotiertem Silizium ist für ein elektrisches Feld von berechnet worden, wobei Stoßionisation nicht berücksichtigt wird. Die strichlierte Linie gibt eine Vollbandberechnung von Fischetti und Laux [66], die strichpunktierte Linie die Rechnung des ersten Vollbandmodells von Tang und Hess [57], die punktierte Linie Berechnungen von Yoder et al. [88] und die lange strichlierte Linie enthält die Verteilungsfunktion eines Vollband-Monte-Carlo-Programmes von Kunikiyo et al. [89]. Die Ergebnisse des isotropen Mehrbandmodells sind mit der durchgezogenen Linie eingezeichnet.

Grundsätzlich kann gesagt werden, daß optischen Phononen den Hochenergietransport von Elektronen sicherlich in einem weit stärkeren Ausmaß modifizieren als anisotrope Bandstruktureffekte. Untersuchungen, inwieweit die quantenmechanische Näherung erster Ordnung für optische Streuprozesse beibehalten werden kann oder aber verbesserte Algorithmen zur Bestimmung dieser Streuwahrscheinlichkeit verwendet werden müssen, werden in [19][22] diskutiert. Dabei wird versucht, eine Herleitung, die die Energieabhängigkeit dieses Potentials, den Einfluß der Bandstruktur als auch eine eine vollständige quantentheoretische Behandlung miteinbezieht, anzugeben.



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Martin Stiftinger
Mon Aug 7 18:44:55 MET DST 1995