3.2.1 Bandstruktur in Siliziumdioxid



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3.2.1 Bandstruktur in Siliziumdioxid

Im Gegensatz zu Halbleitern unterscheiden sich Isolatoren wegen der großen Energielücke zwischen Valenz- und Leitfähigkeitsband. Im allgemeinen werden auch bei hohen Temperaturen nur wenig Elektronen im Leitfähigkeitsband anzutreffen sein. Berechnungen mit der Pseudopotentialmethode [117] und einem sogenannten tight-binding-Verfahren [118] ergeben eine Energiedifferenz von ungefähr zwischen diesen beiden Bändern für -Quarz in einer hexagonalen Struktur. Die Brillouinzone einer hexagonal flächenzentrierten Struktur ist in Abbildung 3.9 eingezeichnet. Das direkte Gitter besteht aus drei Silizium- und sechs Sauerstoffatomen [119]. Abbildung 3.10 zeigt die einzelnen Bänder in Siliziumdioxid, die mit der Pseudopotentialmethode berechnet worden sind [117]. Der Nullpunkt entspricht dem Maximum des höchsten Valenzbandes. Das erste Leitfähigkeitsband erstreckt sich über und wird somit den Elektronentransport in Siliziumdioxid wesentlich bestimmen. Die Anisotropie dieses Bandes, das im Mittelpunkt der Brillouinzone lokalisiert ist, kann als gering angesehen werden [109][110]. Da Siliziumdioxid als Gate-Isolator eine amorphe Struktur aufweist, wird in [120][121] darauf hingewiesen, daß die elektronischen Eigenschaften einer -Quarzstruktur sehr ähnlich sind. Die Zustandsdichte in Siliziumdioxid weist zwischen und ein scharfes Minimum auf. In Berechnungen von Titaniumdioxid, das strukturelle und kristallspezifische Ähnlichkeiten mit Siliziumdioxid hat, ist die Zustandsdichte für das Leitfähigkeitsband eingezeichnet [122]. Ein Minimum ist dort genau dann festzustellen, wenn innerhalb der Bandstruktur eine Lücke auftritt.

 

 

Zur Berechnung der Bandstruktur [123] wird einerseits ein sphärisch parabolisches, ein sphärisch nichtparabolisches als auch ein analytisches Vierbandmodell [58] verwendet. In Tabelle 3.2 sind die einzelnen Parameter angegeben. Für das nichtparabolische Band beträgt die Nichtparabolizität . Die Energierelationen in Abhängigkeit des Wellenvektors lauten

Das Vierbandmodell und die dazugehörige Zustandsdichte ist in Abbildung 3.11 dargestellt und mit einem parabolischen und nichtparabolischen Einbandmodell verglichen. Mit der Wahl des ersten Bandes ist das zweite eindeutig festgelegt [58]. Die Wahl des dritten und vierten Bandes erfolgt mit einer numerischen Approximation der einzelnen Bänder der vollen Bandstruktur, wobei die Tatsache berücksichtigt wird, daß bei ein Minimum auftritt. Für das dritte und vierte Band sind einfache Berechnungen zur Reproduktion der tatsächliche Zustandsdichte ausgeführt worden.

Experimentelle Arbeiten [124][125], bei denen die Streurate extrahiert worden ist, lassen Rückschlüsse auf die Zustandsdichte zu. Ein Minimum der Streurate wird zwischen und eV festgestellt. Ein zweites Maximum ist erst bei sehr hohen Energien () angegebengif. Dieses Maximum kann für elektrische Feldstärken unter vernachlässigt werden. In [124] liegt das Hauptaugenmerk auf Elektronen mit Energien von mehr als . Es wird ein tief inelastischer Streuprozeß postuliert, der bei Elektronen für einen Energieverlust von ungefähr verantwortlich ist. Als Erklärung für diesen Prozeß wird Elektron-Elektronwechselwirkung vorgeschlagen. Eine detaillierte Untersuchung dieses Streumechanismus' ist ausständig.

 

 



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Martin Stiftinger
Mon Aug 7 18:44:55 MET DST 1995