4.3 Parameter-Extraktion



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4.3 Parameter-Extraktion

 

In diesem Abschnitt wird gezeigt, wie eine Reihe von Bauelement-Parametern aus den Meßergebnissen von CP-Experimenten gewonnen werden kann (siehe Tabelle 4.1). Diese Parameter sind im wesentlichen die für das CP-Signal effektive Kanallänge (, Abschnitt 4.3.1), die durch das Source/Drain-Profil bestimmt wird, die Dichte der Grenzflächen-Störstellen am Front- und Backinterface (, Abschnitt 4.3.2), die mittleren Einfangquerschnitte (, Abschnitt 4.3.2) und die Verteilung der Störstellen in Teilen des verbotenen Bandes (Abschnitt 4.3.3).
Über verschiedene Parameter sind keine genauen Daten vorhanden. So ist für die Oxiddicke des Frontgate-Oxides in [76] der Bereich abgegeben. In solchen Fällen werden entsprechende Schätzwerte angenommen, z.B. im gegenständlichen Fall der Wert =. Ebenso ist die Substratdotierung ein grober Schätzwert. Auf Details weiterer Parameter wird in den folgenden Abschnitten eingegangen.

  
Tabelle: Eingabeparameter zur Simulation der Dünnfilm SOI -Diode.





Martin Stiftinger
Fri Oct 14 21:33:54 MET 1994