Abbildung 4.7 zeigt eine Simulation
des CP-Stroms in Abhängigkeit
des unteren Frontgate-Spannungspegels 
.
Die drei Kurvenpaare korrespondieren zu den
Backgate-Spannungen 
und 
.
Die steigenden Flanken der Kurven zeigen die
CP-Einsatzspannung 
,
die fallenden Flanken der Kurven
die CP-Flachbandspannung 
an
(siehe auch Abschnitt 4.1.1).
Bei der CP-Einsatzspannung erreicht das obere
Niveau 
=
einen
Wert, der ausreicht, das Frontinterface zu invertieren,
was zum Einsetzen des CP-Effektes führt: 
erreicht einen Plateauwert, der in der Simulation
mit steigender -Spannung leicht abfällt.
Dieser Abfall wird durch die mit steigende
Sperrspannung am 
-Übergang an der Source-Seite
verursacht, wodurch die für das CP-Signal zur Verfügung
stehende Gate-Fläche verkleinert wird.
Übersteigt die CP-Flachbandspannung,
so verschwindet das CP-Signal,
da die Löcherkonzentration nicht mehr ausreicht,
die in den Störstellen haftenden Elektronen zu entladen.
und werden mit steigender
Backgate-Spannung 
zu niedrigeren Werten
von verschoben. Bei =
tritt der CP-Effekt zusätzlich am Backinterface
auf, wodurch entsprechend vergrößert
wird.
Abbildung: Experiment und Simulation
von in Abhängigkeit des unteren
Frontgate-Spannungspegels für verschiedene
Werte von .
Die simulierten weichen von den Meßergebnissen
sowohl in Bezug auf die CP-Einsatz- und CP-Flachbandspannung
als auch hinsichtlich des Verhaltens des Plateauwertes von ab.
Die Abweichungen bezüglich und
können durch die Unsicherheit verschiedener
Simulationsparameter (Substratdotierung 
,
Frontgate-Oxiddicke 
, feste Oxidladungen am Front- und
am Backinterface, mittlere Dichte sowie energetische Verteilung
der Störstellen am Backinterface) erklärt werden.
Das Ansteigen der gemessenen Kurven mit
kann durch einen dreidimensionalen Effekt - CP-Effekt
an der LOCOS-Kante - verursacht werden [23].
Abbildung: Simulation von in Abhängigkeit der
Backgate-Spannung für verschiedene Werte der
uniformen Störstellendichte 
am Backinterface (oberes Bild) bzw. für
verschiedene Werte der homogenen
Substratdotierung (unteres Bild).