D I S S E R T A T I O N





Modeling of Thermal Oxidation
and Stress Effects

ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften





eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
von



CHRISTIAN HOLLAUER


Mittermoos 5
A-3042 Würmla, Österreich

Matr. Nr. 9525349
geboren am 20. Mai 1975 in St.Pölten

Wien, im Jänner 2007