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D I S S E R T A T I O N


Photolithography Simulation


ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften
eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik

von

Heinrich Kirchauer


Arthaberplatz 11/38
Wien X.
Matrikelnummer 8825186
geboren am 11. Dezember 1969 in Wien

Wien, im März 1998




 



Heinrich Kirchauer, Institute for Microelectronics, TU Vienna
1998-04-17