Die Anforderungen an die Prozeßsimulation werden durch den ständig zunehmenden Einfluß bisher vernachlässigter physikalischer Effekte immer höher. Zudem erfordert die Entwicklung immer komplexerer und kleinerer Strukturen in zunehmendem Maße dreidimensionale Simulation. Während die vorliegende Arbeit einen substantiellen Vorstoß in die dritte Dimension darstellt, sollte die Entwicklung und Implementierung verschiedenster physikalischer Diffusionsmodelle in Zukunft verstärkt in Angriff genommen werden, um das Programm der technologischen Anwendung noch näher zu bringen.