Das Institut für Mikroelektronik, wo diese Arbeit entstand, hat sich immer durch ein ganz besonders gutes Arbeitsklima ausgezeichnet. Neben allen meinen ehemaligen und derzeitigen Kollegen, die für dieses gute Arbeitsklima verantwortlich sind und waren, möchte ich besonders Prof. Dr. Siegfried Selberherr, der nicht nur ``Professor'' sondern auch ein Freund war, für seine Unterstützung in allen Lebenslagen danken. Ich bedanke mich besonders auch bei meinen Zimmerkollegen Otto Heinreichsberger und Martin Stiftinger für die tägliche Unterstützung und Unterhaltung. Nicht vergessen möchte ich unsere Sekretärin Sylvia Zentner, die durch ihre unkomplizierte Art das tägliche Leben sehr erleichtert hat. Ebenso danke ich meinem früheren Kollegen Dr. Martin Thurner für seine Unterstützung und Hilfe zu Beginn meiner Arbeit am Institut. Ein großer Dank gebührt auch Prof. Dr. Wolfgang Fallmann, der sich kurzfristig bereit erklärt hat, die Rolle des zweiten Begutachters zu übernehmen.
Allen Mitarbeitern der Abteilung ZFE ME FKE 21 der Forschungslaboratorien von SIEMENS in München, allen voran Dr. Walter Kellner, sei für ihre Unterstützung und ihr Interesse an dieser Arbeit gedankt. Ein besonders großes Dankeschön gebührt Jayne M. Ashworth, die durch ihr unermüdliches und sofortiges `feedback' mitgeholfen hat, viele Probleme, die in der Entwicklung eines Simulationsprogramms auftreten können, erst gar nicht entstehen zu lassen. Durch ihre Freundschaft wurde die Zusammenarbeit zum Vergnügen.
DIGITAL EQUIPMENT CORP., Hudson, MA und SIEMENS AG., München sei für die Bereitstellung der Computeranlagen am Institut für Mikroelektronik gedankt.
Ich danke meinen Eltern, die mich bis heute in jeder Hinsicht unterstützt haben, besonders auch meinem Vater für seinen Beitrag zur Durchsicht dieser Arbeit.
Und am allerwichtigsten war die Unterstützung meiner Freundin Gabi Eder, die während dieser langen Zeit Freud und Leid mit mir geteilt hat.