4.1.4 Austrittsarbeit des Gate-Materials



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4.1.4 Austrittsarbeit des Gate-Materials

Die Austrittsarbeit (,,Workfunction``) ist die Energiedifferenz zwischen Vakuum- und Fermi-Niveau im Energiebändermodell [Nic82]. Es ist üblich, wenn auch streng genommen inkorrekt, (in Volt) selbst als Austrittsarbeit zu bezeichnen. Bei dotiertem Polysilizium als Gate-Material hat die Dotierungskonzentration Einfluß auf die Austrittsarbeit [Lif85]. In Gleichung 4.1 steht für die Austrittsarbeitsdifferenz zwischen Gate und Substrat. Eine Variation der Austrittsarbeit geht linear in die Threshold-Spannung ein. Die Schwankungsbreite von übersteigt aber kaum und ist damit in seiner Auswirkung auf die Bauelementsimulation von nachrangiger Bedeutung.

Als Hinweis sei angefügt, speziell beim -Kanal-Transistor Augenmerk darauf zu richten, ob als Gate-Material - oder -dotiertes Polysilizium gegeben ist. Die Differenz der Austrittsarbeit gegenüber Silizium beträgt für -dotiertes Polysilizium und für -dotiertes Polysilizium, der daraus resultierende Unterschied in der Threshold-Spannung immerhin ca. .



Martin Stiftinger
Mon Oct 17 21:16:53 MET 1994