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10.3 CCD

Der Bauteilsimulator Minimos-NT [39] wird unter anderem zur Simulation von CCDs (charge coupled devices) benützt [35]. Die erforderlichen Geometrien sind zwar rechtwinkelig, sollen aber strukturell variabel sein, indem die Anzahl der Gates gewählt werden kann.

Auch bei diesem Bauteil kommen die üblichen Schritte Substrat, Implantation und Deposition zur Anwendung; die Berechnung der effektiven geometrischen Größen ist aber etwas aufwendiger.

Um die Phasen der Gates sichtbar zu machen, wurde ein neuer Graphikmodus implementiert. Dieser vergibt die Farben nicht nur nach den Materialien der Segmente, sondern variiert sie geringfügig, damit Segmente gleichen Materials voneinander unterschieden werden können. Dies macht sehr schön die Phasen des CCD erkennbar (Abb. 10.7).

   figure2633
Abbildung 10.6: Bedienungspaneel zur Steuerung der CCD-Generierung

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Abbildung 10.7: Die Oberfläche des generierten CCD



Martin Knaipp
Wed Jun 12 15:41:33 MET DST 1996