Danksagung

Zuerst möchte ich Herrn Professor Siegfried Selberherr für seine Unterstützung beim Schreiben dieser Arbeit danken. Er hat mich während meiner gesamten wissenschaftlichen Tätigkeit am Institut für Mikroelektronik wie auch beim Abfassen dieser Arbeit stets unterstützt und motiviert. Ich bin ihm dankbar für seine Geduld und die Motivation, die er mir gerade im letzten Jahr zukommen ließ.

Ich möchte auch meinen beiden ehemaligen Kollegen René Heinzl und Philipp Schwaha für wertvolle Gespräche und sehr unkonventionelle Ideen bedanken, die das Gedeihen dieser Arbeit erst ermöglichten.

Ich danke Herrn Professor Tibor Grasser für zahlreiche Anregungen, Hinweise und Diskussionen.

Weiters möchte ich noch Herrn Professor Erasmus Langer für die Gelegenheit danken, mein Doktorstudium am Institut für Mikroelektronik durchzuführen.