Bei der Anordnung der DMOS-Zellen zueinander und der Ausformung der Sourcekontaktöffnung ist eine Reihe verschiedener Designs denkbar. Neben dem unattraktiven ,,Linearen Design`` ist eine Vielzahl von sog. ,,Zellulären Designs`` untersucht worden (siehe Abb. 3.5). In [47] und [52] wird gezeigt, daß diese praktisch völlig gleichwertig sind. Im in dieser Arbeit untersuchten Design werden quadratische Kontaktlochöffnungen und quadratische Zellgeometrien verwendet.
Abbildung 3.5: Verschiedene Anordnungen und Designs von
DMOS-Zellen. Durchgezogen sind die Sourcekontaktöffnungen (die inneren und
äußeren Ränder des Kanalgebiets haben dieselbe Geometrie) dargestellt,
strichliert ist die Geometrie einer DMOS-Zelle angedeutet.