4.5 Einflußparameter und Gegenmaßnahmen



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4.5 Einflußparameter und Gegenmaßnahmen

 

Außer dem Einschalten des DMOS-Transistors zufolge einer Drainspannungsänderung und eines Gatewiderstands ist allen in diesem Kapitel beschriebenen Durchbruchsmechanismen gemeinsam, daß sie mit dem -body-Widerstand des parasitären -Bipolartransistors, gebildet aus Sourcegebiet, -body und Driftzone, zusammenhängen. Die Durchbrucheffekte treten mit größer werdendem Widerstand früher bzw. stärker zutage.

Dieser Widerstand vergrößert sich mit steigender Drainspannung, da die Raumladungszone zwischen -body und Driftgebiet auch weiter in den -body eindringt und den Stromflußquerschnitt verringert.

Der Temperatureinfluß auf diese Durchbruchsmechanismen ist, wie schon erwähnt, gering. In [51] wird gezeigt, daß dies auf einer Kompensation gegenläufiger Effekte beruht: Mit steigender Temperatur werden sowohl als auch größer [8], was zu einer Erhöhung von führen müßte, aber auch steigt aufgrund der mit steigender Temperatur kleiner werdenden Beweglichkeit. Zusätzlich sinkt die Flußspannung eines Bipolartransistors mit steigender Temperatur [96], was das Einschalten des parasitären -Transistors begünstigt.

-Kanal DMOS-Transistoren zeigen ein betragsmäßig höheres als -Kanal DMOS-Transistoren, da der -body einen geringeren Widerstand aufweist als der -body (höhere Elektronenbeweglichkeit) und außerdem einen geringeren Lawinengenerationskoeffizienten [125].

Die Verringerung des Widerstands des -bodies zwischen Kanalgebiet und seiner Kontaktierung durch den Sourcekontakt ist die wichtigste Maßnahme zur Unterdrückung der sekundären Durchbrucheffekte. Bei modernen DMOS-Transistoren können diese durch die zusätzliche -Implantation des -bodies (siehe Abschnitt 2.2) fast völlig eliminiert werden.



Martin Stiftinger
Wed Oct 5 11:53:06 MET 1994