2.1 Einleitung



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2.1 Einleitung

 

  
Abbildung 2.1: Bei der Berechnung einer Trajektorie gibt es zwei Mechanismen, die das Ion bremsen: Bei den elastischen, binären Zusammenstößen mit den Targetatomen gibt das Ion an das Atom Energie ab. Zwischen zwei Kollisionen wird das Ion durch Wechselwirkungen mit den Targetelektronen verlangsamt.

Im folgenden werden die physikalischen Grundlagen kurz dargelegt. Zuerst soll auf den Streuvorgang eingegangen werden. Dabei wird der Streuwinkel berechnet, der beim Stoßvorgang des Ions mit einem Gitteratom auftritt. Außerdem muß der Energieverlust des Ions beim Stoßvorgang berechnet werden. Dieser Energieverlust zerfällt in folgende zwei Teile, wie auch in Abb. 2.1 zu sehen ist:

Für die elektronische Abbremsung ist noch zu unterscheiden, ob in einen kristallinen oder einen amorphen Körper implantiert wird. Dieser Unterschied wird ebenfalls kurz behandelt. Weiters ist für die Simulation die Wahl der ,,freien Weglänge`` von Bedeutung. Das ist jener Weg, den das Ion zwischen den Kollisionen mit den Targetatomen zurücklegt. Darauf wird am Ende dieses Kapitels noch näher eingegangen.



Martin Stiftinger
Sat Oct 15 14:00:19 MET 1994