Inhaltsverzeichnis

• Kurzfassung
• Abstract
• Danksagung
• Liste der Symbole
• 1 Einleitung
  • 1.1 Die Ionen-Implantation
  • 1.2 Die Simulation der Ionen-Implantation
    • 1.2.1 Analytische Berechnung
    • 1.2.2 LSS-Theorie
    • 1.2.3 Boltzmann-Transport-Gleichung
    • 1.2.4 Monte-Carlo Methode
  • 1.3 Aufbau dieser Arbeit
• 2 Physikalische Grundlagen
  • 2.1 Einleitung
  • 2.2 Streuvorgang
  • 2.3 Interatomares Potential
  • 2.4 Elektronische Abbremsung
    • 2.4.1 Allgemeine Überlegungen
    • 2.4.2 Spezielle Überlegungen für kristalline Targets
  • 2.5 Die freie Weglänge
  • 2.6 Schlußbemerkung
• 3 Analytische Beschreibung der Ionen-Implantation
  • 3.1 Einleitung
  • 3.2 Punktantwort
  • 3.3 Verteilungsfunktionen
    • 3.3.1 Vertikale Verteilungsfunktionen
    • 3.3.2 Laterale Verteilungsfunktionen
    • 3.3.3 Mehrlagenstrukturen
  • 3.4 Implantationsprofile in allgemeinen Strukturen
  • 3.5 Vergleich mit Monte-Carlo Berechnungen
    • 3.5.1 Planares Substrat mit Oxyd-Maske
    • 3.5.2 Trench
    • 3.5.3 Implantation mit Tilt
  • 3.6 Schlußbemerkung
• 4 Gitteradaption für die Monte-Carlo Simulation
  • 4.1 Einleitung
  • 4.2 Anfangsgitter
  • 4.3 Kriterien für die Gitteradaption
  • 4.4 Der Algorithmus für die Adaption
  • 4.5 Beispiel
  • 4.6 Schlußbemerkung
• 5 Monte-Carlo Simulation im dreidimensionalen Raum
  • 5.1 Einleitung
  • 5.2 Superpositionsmethode
  • 5.3 Geometrieabfragen
    • 5.3.1 Die Schnittmethode
    • 5.3.2 Die Methode der konvexen Teilgebiete
    • 5.3.3 Die Winkelmethode
    • 5.3.4 Die Slab-Methode
    • 5.3.5 Der Octree
  • 5.4 Beispiel
  • 5.5 Schlußbemerkung
• 6 Applikationen
  • 6.1 Einleitung
  • 6.2 Spezielle Trench Strukturen
    • 6.2.1 Geometriedefinition
    • 6.2.2 Ergebnisse
  • 6.3 Allgemeines Modul: Einfache Maske
  • 6.4 Vergleich: Spezielle Geometrien gegenüber allgemeinen Strukturen
  • 6.5 Vergleich: Zwei- und dreidimensionale Simulatoren
  • 6.6 Simulation einer Struktur aus der Topographiesimulation
  • 6.7 Kristallines Beispiel
  • 6.8 Schlußbemerkung
• 7 Zusammenfassung und Ausblick
• Literaturverzeichnis
• Eigene Publikationen
• Abbildungsverzeichnis
• Curriculum Vitae
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