In diesem Kapitel wird ein neues Verfahren für die Simulation von Topographieprozessen vorgestellt. Ausgangspunkt dabei sind grundlegende Operationen der digitalen Bildverarbeitung, die für die Änderung der Simulationsgeometrie herangezogen werden. Das resultierende Verfahren erlaubt eine absolut stabile Simulation genereller Ätz- und Depositionsprozesse, wobei viele der im vorigen Kapitel besprochenen Schwierigkeiten inhärent vermieden werden. Besonderes Augenmerk sollte während der Entwicklung darauf gelegt werden, daß das Verfahren ohne zusätzliche Modifikation auch für die dreidimensionale Simulation anwendbar ist.