Die Simulationsgeometrie wird durch quadratische Zellen dargestellt, wobei einzelne Zellen entweder als geätzt (Vakuumzellen) oder nicht geätzt (Materialzellen) charakterisiert werden. Diese zelluläre digitale Beschreibung der Geometrie erlaubt eine höchst effiziente Anwendung der Bildverarbeitungsoperationen, da die eigentliche Operation auf eine Summe logischer Verknüpfungen zurückgeführt werden kann. Zur Beschreibung der Materialeigenschaft einer Zelle wird zusätzlich für jede Zelle ein Materialindex definiert. Abbildung 3.11 zeigt einen Ausschnitt einer Simulationsgeometrie. Zellen mit Materialindex 0 kennzeichnen Vakuumzellen, die übrigen Zellen stellen Materialzellen dar. Gleicher Materialindex zweier Zellen bedeutet, daß für diese beiden Zellen die gleichen Materialeigenschaften gelten.
Die Oberfläche der Simulationsgeometrie besteht aus Materialzellen, deren
Nachbarzellen Vakuumzellen sind. Der Ätz- oder Depositionsvorgang greift an
diesen Zellen an, da zumindest eine der vier Zellseiten gegenüber dem
Ätzmedium oder der Depositionsquelle freiliegen. Die Oberflächenzellen
werden zusammen mit den vorausberechneten Parametern 
und 
für das lokal anzuwendende strukturierende Element in einer verketteten
Liste gespeichert. Viele der Operationen, die während der Simulation für
die Berechnung der Ätz- und Depositionsraten notwendig sind, können mit
Hilfe der verketteten Liste sehr schnell durchgeführt werden, da nicht
jedes Mal die gesamte Geometrie nach Oberflächenzellen durchsucht werden
muß und man sehr bequem von einer Zelle zur benachbarten Zelle gelangt.
Abbildung 3.11: Das zelluläre Modell für die Geometrie- und
Materialbeschreibung.