In allen Phasen der Entwicklung einer integrierten Schaltung werden heute physi-kalisch-mathematische Modelle für die Beschreibung elektronischer Bauelemente eingesetzt. Die Erkenntnisse, die aus der Simulation der Herstellungsschritte und des elektrischen Verhaltens dieser Bauelemente gewonnen werden können, ermöglichen ein wesentlich tieferes Verständnis der physikalischen Vorgänge und stellen damit eine wichtige Grundlage für weitere Technologieverbesserungen dar [Col90].