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3.1 Konventionelle Vorgangsweise

 

Geht man von einem konkreten Anwendungsbeispiel aus, so muß die Anzahl der Teilchentrajektorien so gewählt werden, daß die statistischen Schwankungen der Verteilung für die relevanten Konzentrationsbereiche (z.B. drei Größenordnungen) hinreichend klein sind. Normalerweise findet man bei Dotierstoffprofilen mit einer relativen Fehlerschranke von fünf bis zehn Prozent das Auslangen, denn daraus resultiert ein Abweichung von ca.\ tex2html_wrap_inline12651% in der örtlichen Verteilung.





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Mon Dec 23 13:09:21 MET 1996