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40keV-Bor-Implantation

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Abbildung 4.22: Simulation einer Punktantwort auf konventionelle Art mit 5.000 40keV-Bor-Ionen.

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Abbildung 4.23: Simulation einer Punktantwort mit Hilfe der Trajectory-Split Methode und 5.000 40keV-Bor-Ionen.

  figure5523
Abbildung 4.24: Simulation einer Referenzverteilung auf konventionelle Art mit 1.000.000 40keV-Bor-Ionen.

  figure5528
Abbildung 4.25: Fehlerverlaeufe tex2html_wrap_inline12741 als Funktion der relativen Konzentration tex2html_wrap_inline12939 fuer 40keV-Bor. Q wurde in diesem Fall um einen Faktor tex2html_wrap_inline12967 verkleinert. Durchgezogene Linien: 5.000 Ionen, strichlierte Linie: 40.000 Ionen.



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