next up previous contents
Next: 25keV-Phosphor-Implantation Up: Einige ausgewählte Punktantworten Previous: 60keV-Bor-Implantation

10keV-Phosphor-Implantation

  figure5561
Abbildung 4.30: Simulation einer Punktantwort auf konventionelle Art mit 5.000 10keV-Phosphor-Ionen.

  figure5566
Abbildung 4.31: Simulation einer Punktantwort mit Hilfe der Trajectory-Split Methode und 5.000 10keV-Phosphor-Ionen.

  figure5571
Abbildung 4.32: Simulation einer Referenzverteilung auf konventionelle Art mit 1.000.000 10keV-Phosphor-Ionen.

  figure5576
Abbildung 4.33: Fehlerverlaeufe tex2html_wrap_inline12741 als Funktion der relativen Konzentration tex2html_wrap_inline12939 für 10keV-Phosphor. Q wurde in diesem Fall um einen Faktor tex2html_wrap_inline12991 verkleinert. Durchgezogene Linien: 5.000 Ionen, strichlierte Linie: 40.000 Ionen.



IUE WWW server
Mon Dec 23 13:09:21 MET 1996