Die in den vorangegangenen Abschnitten dargestellten Kennlinien wurden für die betrachteten Bauelemente LN-16, LN-19 und P-01 auf entsprechenden Wafern an verschiedenen Positionen aufgenommen und analysiert. Dabei konnten neben statistischen Schwankungen auch systematische Abweichungen festgestellt werden, die erkennen ließen, daß einige Bauelementparameter einer systematischen Veränderung auf dem Wafer unterliegen. In den meisten Fällen konnte eine konzentrische Abhängigkeit der Parameter beobachtet werden, wie sie bereits im Kapitel 5 am Beispiel des Gate-Kanal Abstandes demonstriert wurde. Daher unterliegen die über den ganzen Wafer gemittelten Größen zum Teil einer erheblichen Schwankung. Zu beachten ist dabei, daß die Fehlerabweichungen verschiedener Größen nicht - wie bei rein statistischen Fehlern - unabhängig voneinander sind. Betrachtet man begrenzte Bereiche auf einem Wafer, so sind die Abweichungen wesentlich geringer, als in Tabelle 6-7 angegeben.
Tabelle 6-7: Bauelementparameter aus Kennlinienanalyse.