Ergebnisse II -
Messung und Simulation mit MINIMOS NT
Im Rahmen dieser Arbeit wurden verschiedene Methoden zur Analyse der Bauelemente angewandt. Einige Simulationsergebnisse, die mit einfacheren (SPS) bis hochkomplexen (MONTE CARLO) Methoden erzielt worden sind, wurden bereits im vorangegangenen Kapitel zusammen mit Meßergebnissen vorgestellt. Bei der Gegenüberstellung dieser Meß- und Simulationsergebnisse kam es auf das allgemeine Verhalten der gemessenen und simulierten Größen an, unabhängig von der genauen Struktur des untersuchten Bauelements. Die Darstellungen in den folgenden Abschnitten verfolgen dagegen ein anderes Ziel. In diesem Kapitel wird besonderer Wert auf die Zuordnung der Ergebnisse zu einer genau definierten Struktur gelegt. Dafür ist es notwendig zunächst die untersuchten Bauelemente genau zu definieren. Im Anschluß an die Strukturdefinition werden Meßergebnisse, die an den definierten Bauelementen gewonnen wurden, dargestellt und die Unterschiede zwischen den Bauelementen herausgearbeitet. Schließlich zeigen auch die mit Hilfe des Simulators MINIMOS NT gewonnenen Simulationsergebnisse, inwiefern sich die Bauelemententwicklungen im Detail auf die Performance ausgewirkt haben und in welcher Richtung Weiterentwicklungen vorangetrieben werden sollten.