Danksagung

Mein Dank gilt allen meinen Kollegen, die mich während meiner Zeit am Institut für Mikroelektronik positiv beeinflusst haben. Besonders bedanken möchte ich mich bei Prof. Dr. Siegfried Selberherr, der auf unvergleichliche Weise eine Stätte der Forschung etabliert hat und durch seine guten industriellen Kontakte auch einen regen Austausch fördert. Darüberhinaus bietet er seinen Mitarbeitern die Möglichkeit an internationalen Konferenzen und Projekten teilzunehmen und mehrmonatige Forschungsaufenthalte bei namhaften Firmen geben dem Dissertanten einen vielseitigen Einblick und runden den Entwicklungsprozess, den jeder am Institut durchläuft, quasi ab.

Danken möchte ich meinem Zweitbetreuer Prof. Dr. Herbert Haas vom Institut für Grundlagen und Theorie der Elektrotechnik, der mir nicht nur mit seiner Vorlesung über Finite Elemente den theoretischen Hintergrund erklärt hat, sondern auch während dieser Forschungstätigkeit mit Rat und Tat zur Seite gestanden ist.

Der Firma SONY verdanke ich einen Forschungsaufenthalt in Hon-Atsugi, der mir neben der Arbeit in einer TCAD-Abteilung unter der Leitung von Takaaki Tatsumi, auch bleibende Eindrücke aus diesem faszinierenden Land brachte.

Danken möchte ich auch meinen beiden ``Vorgängern'': Robert Bauer hat ein vorzügliche Fundament gelegt, denn das von ihm entwickelte Programmpaket zeichnet sich nicht zuletzt durch sein klares Konzept und dessen erfolgreiche Umsetzung aus. Darauf aufbauend konnte Rainer Sabelka durch suksezzive Arbeit das Programmpaket stetig um viele neue ``Features'' erweitern und verbessern. Für Anregungen und Diskussionen, sowie für ausgezeichnete Antworten auf etliche Fragen gebührt Rainer großer Dank.

Von all meinen Kollegen möchte ich besonders Heinrich Kirchauer, Rainer Sabelka, Robert Kosik, Johann Cervenka, Andreas Hössinger, Wolfgang Pyka, Klaus Dragosits und Peter Fleischmann danken, die für eine angenehme, kooperative Arbeitsathmosphäre sorgten, und über fachliche Diskussionen hinaus auch für außeruniversitären Aktivitäten aufgeschlossen waren.

Abschließend möchte ich meinen Eltern für ihre bedingungslose Unterstützung während des gesamten Studiums danken.

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Magnetisches Feld ( $ \mathchoice{\mbox{\boldmath $\displaystyle B$}}
{\mbox{\boldmath $\textstyle B$}}
{\mbox{\boldmath $\scriptstyle B$}}
{\mbox{\boldmath $\scriptscriptstyle B$}}$) um einem zweilagigen, spiralförmigen Leiter


C. Harlander: Numerische Berechnung von Induktivitšten in dreidimensionalen Verdrahtungsstrukturen