3.1.3 Anwendungsbereich

Damit die Voraussetzung des thermodynamischen Gleichgewichtes erfüllt ist, müssen bereits die Anfangswerte dieser Bedingung entsprechen und zusätzlich dürfen auch die Randbedingungen dieses Gleichgewicht nicht stören. Im Sinne technologisch relevanter Prozesse können also jegliche Effekte aufgrund von Oberflächenreaktionen oder Implantationsschäden nicht beschrieben werden. In vielen Fällen klingen die Störungen des thermodynamischen Gleichgewichtes schnell ab, sodaß nach der Verwendung eines Paardiffusionsmodelles für diese Phase auf das einfachere feldgekoppelte Modell umgestiegen werden kann.

Wendet man das feldgekoppelte Modell auf den Fall mit nur einer Dopandenart A an, erhält man aus Gl. 3.1

$$J_A=-D_{A}\left(1+\frac{C_A}{\sqrt{(2n_i)^2 + C_A^2}}\right)\nabla C_{A}=-D_{A}d_f \nabla C_{A}.$$ (3.6)

Diese Vereinfachung ist auch dann zulässig, wenn sich mehrere Dopandenarten in einer betrachteten Struktur befinden, sich die Dotierungsprofile jedoch nicht überlappen oder die Konzentrationen so gering sind, daß die Ladungsträgerdichte gleich der intrinsischen ist und daher d_f=1 wird. Unter diesen Umständen ist keine Kopplung zwischen den einzelnen Dotierungen gegeben.