D I S S E R T A T I O N


Integrating Technology Simulation
into the Semiconductor Manufacturing Environment

ausgeführt zum Zwecke der Erlangung des akademischen Grades
eines Doktors der technischen Wissenschaften unter der Leitung von

O.Univ.Prof. Dipl.-Ing. Dr.techn. Siegfried Selberherr

Institut für Mikroelektronik

eingereicht an der Technischen Universität Wien
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
von


Rainer Minixhofer

Matr. Nr. 8931246

Josef-Krainer-Ring 2
A-8141 Unterpremstätten, Österreich

geboren am 30. September 1969 in Linz


Unterpremstätten, im März 2006

Sein und Wissen
ist ein uferloses Meer:
Je weiter wir vordringen,
um so unermeßlicher dehnt sich aus,
was noch vor uns liegt
jeder Triumph des Wissens
schließt hundert Bekenntnisse
des Nichtwissens in sich.

Isaac Newton