4.2 Anfangsgitter



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4.2 Anfangsgitter

 

Wie noch später näher ausgeführt wird, können Gitterlinien während des Simulationslaufes zwar gelöscht, aber nicht wieder eingefügt werden. Daher wird zu Beginn ein sehr feines, äquidistantes Gitter kreiert. Der Abstand zweier benachbarter Gitterlinien wird durch die minimale erwartete laterale Standardabweichung bestimmt, um eine möglichst optimale Auflösung des erwarteten Implantationsprofiles zu erreichen. Derselbe Parameter () wird auch dazu benutzt, um die Größe der Teilfenster für die Superpositionsmethode [Hob89] und damit letztendlich auch den Eintrittsort der Ionen in das Target zu bestimmen.

Wie sich zeigte, gewährleistet ein Gitterabstand von eine sehr gute Auflösung des Profils, während diese Wahl andererseits auch die Anzahl der Eliminationsschritte minimiert. Damit wird auch die Rechenzeit günstig beinflußt, weil ja bei jedem Gitterupdate die Maßzahlen nach Abschnitt 4.3 neu berechnet werden müssen. Die Wahl von in dieser Größenordnung ist auch darin begründet, daß bei herkömmlichen Simulationen etwa 1000 bis 10000 Teilchen auf einem Abschnitt von implantiert werden. Ein noch feineres Gitter wäre vom Standpunkt der Statistik nicht sinnvoll.



Martin Stiftinger
Sat Oct 15 14:00:19 MET 1994