Liste der Symbole

Teilchenzähler

Konzentration am Punkt

Energie des Ions

Energie im Massenmittelpunktsystem

Energieverlust des Ions, nicht lokal

Energieverlust des Ions, lokal

Maßzahl für den Gradienten

Maßzahl für den lokalen Dosisfehler

Kennzahl für die Wichtigkeit der -ten Gitterlinie

freie Weglänge

mittlere freie Weglänge

reduzierte Masse

Masse des Ions

Masse des Targetatoms

atomare Dichte

Implantationsdosis (in 1/cm)

Aufenthaltsort des Ions

Zufallszahl

mittlere Eindringtiefe des Ions

elektronische Abbremsung

elektronische Abbremsung von Protonen

Energieverlust des Ions (Boltzmann)

interatomares Potential

Coulombpotential

Ordnungszahl des Ions

Ordnungszahl des Targetatoms

Bohrradius (0.529Å)

Abschirmlänge

Abschirmlänge für kristalline Targets nach Oen und Robinson

Beginn der -ten Schicht

Elektronenladung ( C)

Planksche Konstante ( Ws)

skalierte Masse

Ruhemasse des Elektrons (9.109558 kg)

zentrale Momente einer Verteilungsfunktion

Normalvektor auf eine Ebene

Stoßparameter

Impuls des Ions

Ionisierung

Abstand des Ions vom Atom

Dicke der -ten Schichte

skalierter minimaler Energieübertrag

Bohrgeschwindigkeit ( m/s)

Fermigeschwindigkeit

Relativgeschwindigkeit

Systemgeschwindigkeit des Massenmittelpunktsystems

horizontale Gitterlinie an der Stelle

lokaler Anteil an bei kristallinen Targets

nichtlokaler Anteil an bei kristallinen Targets

Ortsvektor zu einem Aufpunkt

vertikale Gitterlinie an der Stelle

normierte Relativgeschwindigkeit

Gammafunktion

Abschirmlänge des Ions

Abschirmfunktion

Streuwinkel im Massenmittelpunktsystem

Streuwinkel des Ions

Skalierungsfaktor in Mehrlagenstrukturen

Winkel des Recoils

Kurtosis

relative effektive Ladung des Ions

Schiefe

Verschiebung in Mehrlagenstrukturen

skalierte Energie

Dielektrizitätskonstante des leeren Raumes ( As/Vm)

Momente einer Verteilungsfunktion

azimutaler Winkel

Standardabweichung