2.3.1 Das Entfernen von Zellen



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2.3.1 Das Entfernen von Zellen

Der Algorithmus für das Fortschreiten der Ätzfront kann folgendermaßen formuliert werden:

[1]
Berechne für jede Oberflächenzelle die Zeit, die benötigt wird, um diese Zelle zu entfernen (Abbildung 2.26).

[2]
Entferne die Zelle die am schnellsten geätzt wurde, und korrigiere die Ätzzeiten der verbleibenden Oberflächenzellen.

[3]
Entferne jene Zellen, die vollständig geätzt wurden.

[4]
Gehe zu [1], solange nicht die vorgegebene Ätzzeit erreicht wurde.



Martin Stiftinger
Thu Nov 24 17:41:25 MET 1994