2.4.1 Die Bewegung der Oberfläche

Der Algorithmus für das Fortschreiten der Ätzfront kann folgendermaßen formuliert werden:

[1]

Berechne für jede Materialzelle den neuen Konzentrationswert durch Lösen der Diffusionsgleichung 2.14.

[2]

Ändere die Konzentrationswerte der Zellen entsprechend dem Schwellwert entweder auf 1.0 oder 0.0.

[3]

Gehe zu [1], solange nicht die vorgegebene Ätzzeit erreicht wurde.

  
Abbildung 2.32: Die Lösung des eindimensionalen Diffusionsproblems in Abhängigkeit der Diffusionszeit .

  
Abbildung: Die Ätzfront bewegt sich proportional zur Wurzel der Diffusionszeit .

  
Abbildung 2.34: Topographiesimulation durch Lösung einer Diffusionsgleichung; (a) Inititialisierung der Zellen, (b) Konzentrationswerte nach Lösen der Diffusionsgleichung, (c) Umsetzen der Konzentrationswerte.