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10keV-Arsen-Implantation

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Abbildung 4.46: Simulation einer Punktantwort auf konventionelle Art mit 5.000 10keV-Arsen-Ionen.

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Abbildung 4.47: Simulation einer Punktantwort mit Hilfe der Trajectory-Split Methode und 5.000 10keV-Arsen-Ionen.

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Abbildung 4.48: Simulation einer Referenzverteilung auf konventionelle Art mit 1.000.000 10keV-Arsen-Ionen.

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Abbildung 4.49: Fehlerverlaeufe tex2html_wrap_inline12741 als Funktion der relativen Konzentration tex2html_wrap_inline12939 für 10keV-Arsen. Q wurde in diesem Fall um einen Faktor tex2html_wrap_inline13039 verkleinert. Durchgezogene Linien: 5.000 Ionen, strichlierte Linie: 40.000 Ionen.



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