Ränder können als größter möglicher Gitterdefekt angesehen werden. Daher ist auch der Einfluß der Randbedingungen essentiell. So bestimmen etwa im Falle der Reaktionsgleichung zwischen Interstitials und Vacancies die Gleichgewichtskonzentrationen am Rand die Gleichgewichtskonzentrationen im Inneren.
Eine Vielzahl unterschiedlichster Materialkombinationen und verschiedenster Prozeßbedingungen resultieren in einem weiten Spektrum an unterschiedlichen Rand- und Übergangsbedingungen. Die wichtigsten Effekte werden im folgenden kurz skizziert.