4.2.7 PAI-Anbindung

Die CLS-Unterprogrammbibliothek stützt sich bei den unvermeidlichen Lese- und Schreibzugriffen auf die PAL- und PIL-Schichten des PAI. Wo möglich wurden die leistungsfähigeren PAL-Funktionen verwendet, die bereits eine Reihe von syntaktischen und semantischen Überprüfungen durchführen und meist mit einem Aufruf mehrere zusammengehörige, aber im PIF getrennt abgelegte Daten bewegen.

Nur in Fällen, in denen die entsprechenden PAL-Funktionen entweder zu starke semantische Einschränkungen vorsehen oder zu viele unnötige Operationen mit sich bringen, wurde auf die einfacheren, aber aufwendiger anzuwendenden PIL-Funktionen zurückgegriffen.

Da CLS versucht, nur die benötigten Daten im Speicher zu halten, gibt es für jedes Objekt verschiedene Stufen der Expandierung.

1. Im trivialen Fall ist ein Objekt überhaupt nicht im Speicher repräsentiert.
2. Ein Objekt kann im Speicher vorliegen, wobei nur die allerwichtigsten Angaben vorliegen, wie Name und Zeiger auf das Mutterobjekt, und eine Liste der Rückreferenzen.
3. Die nächste Stufe berücksichtigt alle Referenzen des Objektes auf andere Objekte. Diese müssen mindestens in Expandierung 2 vorliegen.
4. Alle Kinder liegen mindestens in Expandierung 2 im Speicher vor.
5. Alle Daten eines Objektes sind präsent. Dies betrifft nur Attribute.

In einer Objektstruktur gibt es Markierungen, in welcher Expandierung das Objekt vorliegt. Ausgenommen davon sind Simplexobjekte, für die die entsprechenden Angaben ihrer Simplexliste gelten.

Die Markierungen sind:

• rcompressed sagt aus, daß die Referenzen nicht expandiert sind; für Simplexlisten gilt, daß die Referenzen ihrer Simplexobjekte nicht expandiert sind.
• ccompressed enthält die Information über die Kindobjekte. Als Kinder von Simplexlisten gelten deren Simplizes.
• dcompressed gibt (nur bei Attributen) an, daß die Datenwerte des Objektes nicht im Speicher vorliegen.

Um die Anwendung der erläuterten Datenstrukturen zu verdeutlichen, wird anhand eines einfachen Datenbeispiels gezeigt, welche Verbindungen tatsächlich aufgebaut sind.

Die Beispieldaten stellen einen zweidimensionalen Ausschnitt eines vordotierten, aber noch nicht weiterverarbeiteten Wafers dar, bestehend aus einem Segment, Dreiecksgitter und konstanter Dotierung (Abb. 4.2).

  
Abbildung 4.2: Interne CLS-Struktur bei der Repräsentierung eines Substrates mit Gitter und Dotierung