Energie- und Längenkriterium

 

  
Abbildung 4.4: Energie- und Laengenkriterium fuer die Auswahl guenstiger Ionen. Unterschreitet die Ionenenergie bei einem beliebigen Punkt P einen vorgegebenen Schwellwert (), wird an dieser Stelle die Laenge der Trajektorie R ueberprueft (). Hat das Ion bereits einen bestimmten Prozentsatz der mittleren Trajektorienlaenge erreicht, so hat man ein guenstiges Ion gefunden.

Eigentlich wäre es ideal, wenn man für die Selektion der günstigen Ionen zwei Freiheitsgrade zur Verfügung hätte, denn dies würde einen in die Lage versetzen, den Ort der ersten Aufteilung und die Anzahl der selektierten Ionen getrennt zu beeinflussen (Je höher die Energie bei einem Aufteilungspunkt ist, desto wahrscheinlicher ist es, daß die Trajektorienzweige divergieren.). Dementsprechend wird das Energiekriterium (Gleichung 4.2) mit einem zusätzlichen Filter kombiniert (siehe Abbildung 4.4):

• Unterschreitet den Schwellwert bei einem beliebigen Punkt P, so muß die aktuelle Länge der Trajektorie einen vorgegebenen Prozentsatz der mittleren Trajektorienlänge betragen

  
   
  

  
Abbildung 4.5: Schematische Darstellung des Filtervorganges zur Selektion guenstiger Ionen. Die Strichstaerke des Pfeiles repraesentiert die Anzahl der Trajektorien.

Durch diese Maßnahme werden überdurchschnittlich kurze Trajektorien eliminiert, denn sie würden kaum in periphere Gebiete vordringen. Man kann dadurch die Rechenzeit nochmals um etwa 15% senken.

Abbildung 4.5 zeigt diesen Filtervorgang schematisch. Welcher Prozentsatz der Ionen aufgeteilt werden soll, hängt natürlich von der Anwendung ab (interessiert man sich für den Channeling-Tail oder nicht, wie groß ist das Implantationsfenster, usw.), als Richtwert können jedoch 50 bis 90% angegeben werden.

Die Werte für und in Abhängigkeit der Ionenart und -energie sind als Diagramme in den Abbildungen 4.6 und 4.7 dargestellt.

  
Abbildung 4.6: Der energieabhaengige Schwellwert der Trajectory-Split Methode als Funktion der Ionenart und -energie.

  
Abbildung 4.7: Der von der mittleren Laenge der Trajektorie abhaengige Schwellwert der Trajectory-Split Methode als Funktion der Ionenart und -energie.