Footnotes

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Zur Notation der Beweglichkeiten sowie zum Vergleich mit dem verallgemeinerten Drift-Diffusionsansatz sei auf den Abschnitt 5.1 im Kapitel 5 verwiesen.
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M. Mock änderte seinen Familiennamen auf Sever.
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Deutsche Übersetzung des Begriffes Technology-CAD Framework.
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Die Abkürzung CP steht für Charge Pumping. Dieser Terminus wird der deutschen Bezeichnung Grenzflächen-Ladungspumpen aufgrund seiner Etablierung in der Fachliteratur vorgezogen.
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Hiezu wurde der Integrator QAGS aus dem Quadratur-Paket QUADPACK [80] verwendet.
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Mit einem alternativen Ansatz für die Kleinsignalvariable [Gleichung (3.63)] kann gezeigt werden, daß , das heißt die unbedingt reell sind [priv. comm. mit C. Schmeiser].
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Die in diesem Kapitel verwendeten Meßergebnisse wurden von Prof. Sorin Cristoloveanu und Dr. Thierry Ouisse, beide vom Laboratoire de Physique des Composants Semiconducteurs (LPCS), Grenoble, freundlicherweise zur Verfügung gestellt. Zum einfachen Vergleich mit Ergebnissen von numerischen Simulationen wurden die in analoger Form vorliegenden experimentellen Daten digitalisiert und anschließend digital gefiltert. Diese Daten sind in den Abbildungen der folgenden Abschnitte punktiert eingezeichnet.
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Siehe [95] (nichtlineares Gleichungssystem) und [85] (lineare Gleichungssysteme) zur Definition der in MINIMOS verwendeten Fehlertoleranzen.
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Die Signalverarbeitung wird durch ein von MINIMOS getrenntes Programm besorgt, das die Kontaktströme über vorzugebende Zeitintervalle mittelt.
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Laterale Profilierung wurde bisher in erster Linie zur Messung von Störstellen-Verteilungen, die infolge lokaler Beschädigung durch heiße Ladungsträger entstehen (z.B. am Drain-seitigen -Übergang eines MOSFETs), verwendet [2].
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Die Buchstabenkombinationen und notieren eine Kombination von Streumechanismen im Halbleiter. steht für Streuung am Kristallgitter (Lattice), für Streuung an ionisierten Störstellen (Impurities), für die Streuung an Halbleiterober- oder Grenzflächen (Surface) und symbolisiert die Beweglichkeitsreduktion aufgrund der Geschwindigkeitssättigung [96].
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Der englische Ausdruck Preconditioning geht auf den Mathematiker Turing (1948) zurück und etablierte sich zu einer Standardbezeichnung für ein Verfahren die Lösung eines numerisch schlecht konditionierten Problems der linearen Algebra durch Transformation zu erleichtern [33].
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Der Füllgrad wird in der Literatur auch als ,,Level of Fill-In`` bezeichnet.
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ADI bedeutet Alternate Direction Implicit und ist die Bezeichnung für die iterative Methode von Peaceman und Rachford [79].
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Kern-Polynome sind orthogonal-polynomiale Reihenentwicklungen der Deltafunktion bezüglich einer positiven Gewichtsfunktion auf einem Intervall [a,b].
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Entspricht der MINIMOS-Modellstufe ,,HOT``.

Martin Stiftinger
Fri Oct 14 21:33:54 MET 1994