5.2.1 Dotierungsabhängigkeit von

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5.2.1 Dotierungsabhängigkeit von $\mu_{p}$

**Abbildung 5.13:** Die Beweglichkeit der Minoritätselektronen nach (5.4) als Funktion der Akzeptorkonzentration für unterschiedliche Temperaturen in B-dotiertem Si.
$\begin{figure}\psfrag{100k}{\hspace{-0.4cm}100 $\!$K}\psfrag{200k}{\hspace{-0.... ...}}\end{center}\vskip0.25cm\begin{center}\parbox{14cm}{}\end{center}\end{figure}$

**Abbildung 5.14:** Die Beweglichkeit der Minoritätselektronen nach (5.4) als Funktion der Temperatur T bei unterschiedlichen Akzeptorkonzentrationen $N_{\rm{A}}$ für B-dotiertes Si.
$\begin{figure}\psfrag{y-mob}{Electron Mobility [cm$^2$/Vs]}\psfrag{1h}{\raiseb... ...}}\end{center}\vskip0.25cm\begin{center}\parbox{14cm}{}\end{center}\end{figure}$

**Abbildung 5.15:** Die Beweglichkeit der Minoritätselektronen nach (5.4) als Funktion der Akzeptorkonzentration bei 77 und 100 K in B-dotiertem Si. Experimentelle Daten sind aus [LN93] (77 K) und [SKS86] (100 K).
$\begin{figure}\psfrag{e2}{\hspace{-0.3cm}$10^2$}\psfrag{e3}{\hspace{-0.2cm}$10... ...}}\end{center}\vskip0.25cm\begin{center}\parbox{14cm}{}\end{center}\end{figure}$

**Abbildung 5.16:** Die Beweglichkeit der Minoritätselektronen nach (5.4) als Funktion der Akzeptorkonzentration bei 300 K in B-dotiertem Si. Experimentelle Daten sind aus [SKS86] (295 K), [LN93] (296 K) und [Dzi79] (300 K).
$\begin{figure}\psfrag{s296}{\footnotesize\hspace{-0.35cm}296 K}\psfrag{e2}{\hs... ...}}\end{center}\vskip0.25cm\begin{center}\parbox{14cm}{}\end{center}\end{figure}$

**Abbildung 5.17:** Die Elektronenbeweglichkeit nach (5.4) als Funktion der Akzeptorkonzentration $N_{\rm{A}}$ und der Temperatur T in B-dotiertem Si.
$\begin{figure}\psfrag{a16}{\raisebox{-1ex}{\hspace{-0.2cm}$10^{16}$}}\psfrag{a... ...}}\end{center}\vskip0.25cm\begin{center}\parbox{14cm}{}\end{center}\end{figure}$

**Abbildung 5.18:** Vergleich der Elektronenbeweglichkeiten nach (5.2) und (5.4) als Funktion der Störstellenkonzentration *N_i* und Temperatur T in P- und B-dotiertem Si.
$\begin{figure}\psfrag{y-mob}{Electron Mobility [cm$^2$/Vs]}\psfrag{x-tmp}{$T$\... ...}}\end{center}\vskip0.25cm\begin{center}\parbox{14cm}{}\end{center}\end{figure}$

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Kaiblinger-Grujin Goran
1997-12-06