Die außerordentlich rasante Entwicklung in der Mikroelektronik übertrifft selbst optimistische Prognosen von Fachleuten [Ass94]. Das Verlangen des Marktes nach immer schnelleren, komplexeren und zugleich billigeren Integrierten Schaltungen (ICs) zwingt die Hersteller zum möglichst effizienten Einsatz aller verfügbaren Herstellungs- und Entwurfsverfahren.
Eine außerordentliche Beschleunigung der Entwicklung hochintegrierter Bauelemente konnte durch den massiven Einsatz computerunterstützter Entwurfs- und Simulationswerkzeuge erreicht werden. Die computerisierte Unterstützung (CAD) ist heutzutage in allen Phasen der IC-Entwicklung selbstverständlich. Während Computer zum Entwurf von elektronischen Systemen bereits seit geraumer Zeit genutzt werden (ECAD), ist der Einsatz physikalisch-mathematischer Simulation im Bereich der Produktionsprozesse vergleichsweise jung. Die Verwendung numerischer Simulationen von Herstellungsprozessen ermöglicht den Ingenieuren vertieften Einblick in die prinzipiellen Zusammenhänge eines Prozesses, wodurch die Basis für weiteren Fortschritt gegeben ist.