3.4.1 Bandstruktur von GaAs



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3.4.1 Bandstruktur von GaAs

 

Galliumarsenid kristallisiert in Zinkblendestruktur, d.h. die Gallium- und die Arsenatome bilden zwei ineinander verschachtelte kubisch flächenzentrierte Gitter. Die Gallium- und Arsenatome sind durch Ionenbindung aneinander gebunden, daher ist GaAs im Gegensatz zu Silizium ein polarer Halbleiter, was entscheidenden Einfluß auf die dominierenden Streumechanismen hat. Die Gitterkonstante beträgt bei Raumtemperatur () . Daraus ergibt sich eine Massendichte von und eine Atomdichte von . Die in der Literatur angegebenen Meßwerte für die relative Dielektrizitätskonstante schwanken zwischen und . Allgemein hat sich der Wert von durchgesetzt, der bis in den Gigahertzbereich konstant angenommen wird. Die Temperaturabhängigkeit kann folgendermaßen berücksichtigt werden:

Zwei grundsätzliche Vorteile gegenüber Silizium machen GaAs speziell für die Anwendung im Hochfrequenzbereich interessant. Einerseits ermöglicht die ungefähr doppelt so große Sättigungsgeschwindigkeit der Elektronen kürzere Transitzeiten und damit höhere Schaltgeschwindigkeiten. Andererseits kann man aus GaAs sogenannte semi-isolierende Substrate (vgl. Kap. 3.3.1), das heißt Schichten mit sehr hohem spezifischen Widerstand (bis zu ), herstellen, womit man parasitäre Effekte wie Leckströme und Substratkapazitäten weitgehend reduzieren kann, was sich wiederum positiv auf die Schaltgeschwindigkeit auswirkt.

Beide Eigenschaften lassen sich mithilfe der Bandstruktur erklären. Abb. 3.10 zeigt die Bandstruktur von GaAs mit den drei niedrigsten Minima im Leitungsband und den drei höchsten Maxima im Valenzband, die für die Beschreibung der Transporteigenschaften relevant sind. Hier ist der Zusammenhang zwischen Energie und Wellenvektor für die kristallographischen Richtungen hoher Symmetrie angegeben.

  
Abbildung 3.10: Ausschnitt aus der Bandstruktur von GaAs

Die beiden höchsten Maxima des Valenzbandes, die die Eigenschaften der Löcher bestimmen, unterscheiden sich nur in ihrer Krümmung, nicht aber in ihrer Energie. Daraus ergeben sich zwei effektive Massen und für leichte (V2) und schwere Löcher (V1). Die Werte dafür werden in der Literatur [7] mit und angegeben. Das tieferliegende Maximum V3 wird für die weiteren Betrachtungen vernachlässigt.

Die Struktur des Leitungsbandes mit den drei Minima , L und X bestimmt die Eigenschaften des Elektronentransports in GaAs. Alle drei Minima liegen an unterschiedlichen Symmetriepunkten der Bandstruktur. Das tiefste Minimum () hat gleichzeitig auch die geringste effektive Masse . Nur ungefähr höher liegt das L-Minimum mit der beträchtlich höheren effektiven Masse von . Schließlich folgt das X-Minimum im Abstand von ca. mit der effektiven Masse von . Aus dem großen Unterschied der effektiven Masse im -Minimum auf der einen Seite, und im L- und X-Minimum auf der anderen Seite und der relativ geringen Energiedifferenz resultiert auch das lokale Maximum der Feldabhängigkeit der mittleren Driftgeschwindigkeit der Elektronen (siehe Kap. 3.1.4 und 3.4.2). Für die Abstände der Leitungsbandminima , L und X zum Valenzbandmaximum werden die folgenden temperaturabhängigen Formulierungen angegeben:

   

Unter der Voraussetzung der Gültigkeit der Boltzmannstatistik und Annäherung der Bandstruktur durch Energieparabeln in den Minima und Maxima läßt sich die intrinsische Ladungsträgerdichte berechnen. Für den parabolischen Fall ergibt sich für die effektive Zustandsdichte eines Bandes mit der effektiven Masse

 

Die Elektronenkonzentration in den einzelnen Leitungsbandminima beträgt im thermischen Gleichgewicht

Mithilfe von läßt sich eine gemittelte effektive Masse des Leitungsbands berechnen.

und sind die Differenzen aus (3.157) -(3.159). In gleicher Weise erhält man für die gemittelte effektive Masse der Löcher

Daraus lassen sich nun mithilfe von (3.160) die effektiven Zustandsdichten und für das Leitungs- und das Valenzband bestimmen. Um die Nichtparabolizität im Leitungsband zu berücksichtigen, wird in [7] folgende Formulierung vorgeschlagen,

 

die einen etwas höheren Wert für ergibt. Mit kann man nun daraus die intrinsische Ladungsträgerkonzentration berechnen.

 

Tab. 3.4.1 zeigt eine Zusammenstellung der wichtigsten Materialparameter von GaAs für Raumtemperatur (), wobei mit (3.166) berechnet wurde.

  
Tabelle: Materialparameter für



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Martin Stiftinger
Fri Oct 14 19:00:51 MET 1994