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9 Ausgewählte Funktionen

Im PIF-Editor sind, aufbauend auf einfachsten Schritten, leistungsfähige Funktionen für verschiedene wichtige Anwendungsfälle implementiert. Sie können in noch umfassenderen Funktionen verwendet (s. Kapitel 10), von außen (z.B. vom simulation flow controller) in einem eigenen Lauf des PED benützt oder interaktiv durch den Benutzer aufgerufen werden.

Einige der im folgenden beschriebenen Funktionen können von ihrem Wesen her als Emulation eines Herstellungsprozeßschrittes verstanden werden. Es sei aber darauf hingewiesen, daß sie in keiner Weise auf die vielfältigen und oft hochkomplexen physikalischen Vorgänge, die in realen Halbleiterprozessen auftreten und mit Prozeßsimulatoren berechnet werden, eingehen. Vielmehr dienen sie dazu, ein vom Anwender angestrebtes Ziel in Daten umzusetzen. Dies macht den PED zu einem rapid prototyping-Werkzeug.





Martin Knaipp
Wed Jun 12 15:41:33 MET DST 1996