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Randbedingugen für die Simulation
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5.4 Amorphisierungsmodell
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Gültigkeit des Amorphisierungsmodelles bei
5.5 Simulationsergebnisse
5.5.1 Randbedingugen für die Simulation
5.5.2 Kritische Amorphisierungenergiedichte
5.5.3 Kritische Implantationsdosis
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Mon Dec 23 13:09:21 MET 1996
